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超净生產線控製

提供用於半导體生(sheng)產過程(cheng)中，與所使用的氣體、液體相(xiang)關聯的多種不同的產品(pin)、組件及系統(tong)中的部件。

應用範(fan)围从冷(leng)卻系統、大(da)容量贮存系統(tong)、氣柜、氣體监控的應用、大量過滤和净化，一直到氣體使用供應站(zhan)。

部件和設備

在(zai)半导體(ti)設備製造领域，我們為各類半导體設備(bei)製造商提供全面的部件與系統(tong)解決方案。產品範围涵(han)盖精密部件(jian)、局部裝配件，以及(ji)管路、阀門、集成管線系統(tong)，旨在满足半导體工業日(ri)趨复雜的工藝要(yao)求。生產過程(cheng)嚴格在超净室環境下進行(xing)，采用雙層包裝工藝確(que)保產品在流(liu)轉和存储阶段的洁净度保護。我們的阀門(men)與配件設計采用无死角結構，最大程度降低(di)内部(bu)污染風险，同(tong)時(shi)减少對特定润滑剂的依赖。

超高純部件

超高純氣流所使用的部件範围包(bao)括超高(gao)純表面密封接头以及超高純隔膜阀和調節器。